分子束外延法（关于分子束外延法介绍）

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1、 分子束外延是种物理沉积单晶薄膜方法。

2、在超高真空腔内，源材料通过高温蒸发、辉光放电离子化、气体裂解，电子束加热蒸发等方法，产生分子束流。

3、入射分子束与衬底交换能量后，经表面吸附、迁移、成核、生长成膜。

4、生长系统配有多种监控设备，可对生长过程中衬底温度，生长速度，膜厚等进行瞬时测量分析。

5、对表面凹凸、起伏、原子覆盖度、黏附系数、蒸发系数及表面扩散距离等生长细节进行精确监控。

6、由于MBE 的生长环境洁净、温度低、具有精确的原位实时监测系统、晶体完整性好、组分与厚度均匀准确，是良好的光电薄膜，半导体薄膜生长工具。

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