导读 大家好,小隆来为大家解答以上的问题。分子束外延设备,关于分子束外延设备介绍这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1、 分子束
大家好,小隆来为大家解答以上的问题。分子束外延设备,关于分子束外延设备介绍这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、 分子束外延设备有很多种。
2、但就其主要结构而论是大同小异的。
3、分子束外延的设备较其他外延技术的设备复杂,要包括超高真空系统努森箱及各种分析仪器。
4、从MBE技术的发展过程看,当初主要是为开发以GaAs为中心的Ⅲ-V族化合物半导体,而后是针对Ⅱ-Ⅵ族和Ⅳ-Ⅵ族化合物半导体,最近正转向针对Si半导体器件的应用开发。
5、从MBE装置的角度看,逐步从单纯研究用装置向批量生产用装置进展。
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