导读 大家好,小隆来为大家解答以上的问题。分子束外延镀膜法,关于分子束外延镀膜法这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1、 分子束
大家好,小隆来为大家解答以上的问题。分子束外延镀膜法,关于分子束外延镀膜法这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、 分子束外延镀膜法是一种半导体薄膜材料制备工艺。在超高真空下,从束源喷射炉中蒸发出来的不同组元的原子束或分子束喷射到加热的、清洁的且具一定晶向的单晶衬底表面上,与表面相互作用,外延生长单晶薄膜。
2、 中国于1974年开始了分子束外延的研究,于1983年研制的设备投入正常运行,现已有Ⅰ型、Ⅱ型、Ⅲ型和Ⅳ型国产分子束外延设备以及CBE设备。
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